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    硅膠固定MEMS器件

    2021/10/28 13:25:10        2071

    微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。MEMS器件體積小，重量輕，耗能低，慣性小，諧振頻率高，響應時間短。

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